Product classification
粗糙度儀
圓柱度儀
激光粒度儀
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粗糙度儀評定參數
評定參數
Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2
粗糙度儀測量范圍
Z軸
800μm
X軸
50mm
直線度精度
0.4μm
分辨率（Z軸）
0.001μm
采樣數/分解能
9600點/16bit
濾波器
高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器
取樣長度
λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）
截止波長
0.25,0.8,2.5
測量速度
0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s
返回速度
（自動） 1mm/s
示值誤差
±5%
示值穩定性
3%
測量重復性
圖形放大倍率
10-500000自動調整
傳感器
針尖 R=2μm鉆石（測量力1mN）
R=5μm鉆石(測量力4mN）
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